L’alumine en plaquettes peut-elle être utilisée comme charge abrasive pour un tampon de polissage de substrat en saphir ?
Réponse : Oui. L’alumine en plaquettes (α-Al₂O₃ en forme de lamelles) convient comme matériau d’apport pour les disques de polissage abrasifs fixes destinés aux substrats en saphir, principalement pour les étapes d’ébauche et de polissage intermédiaire. Le saphir étant un monocristal d’α-alumine, l’alumine en plaquettes est composée du même matériau, ce qui évite toute contamination par des corps étrangers.
Avantages
- Le mécanisme de polissage par glissement, grâce auquel des particules hexagonales plates s’alignent parallèlement à la surface du saphir sous pression, effectue un micro-polissage par contact avec la surface, évitant ainsi le rayage par arêtes vives. Comparé à l’alumine blanche fondue, ce procédé réduit considérablement les rayures profondes et les dommages sous-jacents, améliorant ainsi le rendement d’épitaxie des LED.
- Dureté identique à 9 sur l’échelle de Mohs, équivalente à celle du saphir. Élimine efficacement les défauts sous-jacents après le découpage et le rodage. La silice seule offre un taux d’élimination trop faible.
- Exigence de haute pureté Une alumine en plaquettes de phase α de haute pureté (Al₂O₃ ≥99,9%, faible teneur en Fe, Na, Si) est requise pour éviter la contamination par les ions métalliques de la surface du saphir, ce qui affecte les performances des LED.
