Corindon al2o3 en oxyde d’aluminium fondu blanc pour le polissage des semi-conducteurs
L’alumine fondue blanche a été fabriquée à partir d’alumine de haute qualité par fusion au-dessus de 2000 dans le four à arc électrique et refroidissement. Il est blanc avec la phase cristalline principale alpha-Al2O3.
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Tableau de comparaison de la taille des particules de micropoudre standard FEPA
Tableau de comparaison de la taille des particules de micropoudre standard JIS |
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| Taille | D0 | D3 | D50 | D94 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 240 # | ≤127 | ≤103 | 57±3.0 | ≥40 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 280 # | ≤112 | ≤87 | 48±3.0 | ≥33 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 320 # | ≤98 | ≤74 | 40±2.5 | ≥27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 360 # | ≤86 | ≤66 | 35±2.0 | ≥23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 400 # | ≤75 | ≤58 | 30±2.0 | ≥20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 500 # | ≤63 | ≤50 | 25±2.0 | ≥16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 600 # | ≤53 | ≤41 | 20±1.5 | ≥13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 700 # | ≤45 | ≤37 | 17±1.5 | ≥11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 800 # | ≤38 | ≤31 | 14±1.0 | ≥9 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1000 # | ≤32 | ≤27 | 11,5±1,0 | ≥7 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1200 # | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | ≥5.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1500 # | ≤23 | ≤20 | 8±0,6 | ≥4.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2000 # | ≤19 | ≤17 | 6,7±0,6 | ≥ 4,0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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